電子線マイクロアナライザー (EPMA, EPMA-1600)

[倍率]×50~400,000 [加速電圧]0~30 kV
[最大試料大高さ]50 mm
[分光結晶]CH1{RAP(O~Al, Cr~Kr, La~Hf)/LSA70(C,N,O)}
CH2{PbST(B,C,N)/LSA120(B,C)}
CH3{LiF(Ca~Ge,Sn~Hg)/PET(Si~Ti,Kr~Ba,Lu~U)}
CH4{LiF(Ca~Ge,Sn~Hg)/ADP(Al~Ca,As~Te,Dy~U)}
CH5{LSA70(C,N,O)/LSA200(Be,B)}