機器分析センタータイトル
> 走査型電子顕微鏡 + エネルギー分散型X線分析装置 (1F) (SEM+EDX, GeminiSEM 560 +Ultim Max 100)

走査型電子顕微鏡 + エネルギー分散型X線分析装置 (1F)
(SEM+EDX, GeminiSEM 560 + Ultim Max 100)

活用事例
  • 粉末、ナノ粒子の表面形状観察
  • 絶縁物、セラミックス等の表面形状観察
  • プリント基板、メッキ製品等の元素分布状態分析
  • 異物の形状観察・半定量分析
メーカおよび型式

ZEISS GeminiSEM 560 + Oxford Ultim Max 100

仕様

[SEM] 倍率:x1～x2,000,000, 分解能:二次電子像0.5 nm@15kV, 反射電子像1.0nm@1kV, 加速電圧:0.02～30kV
[EDX] 検出元素:ホウ素(Be, Z=4)～カリホルニウム(Cf, Z=98), 分解能:Mn Kα127eV@130,000cps
[搭載検出器] Inlens SE 検出器, Inlens EsB 検出器, チャンバー SE 検出器, aBSD 検出器, EDS 検出器

設置場所

総合研究棟1F (108)

担当者

技術部　富澤　由紀（内1441）、星野　由紀（内1441）

注意事項
  • 前期期間中（2024年9月30日まで）は機器担当者による代行分析のみ対応致します。詳しくはSimpRent機器ページをご覧ください。
機器分析センター機器一覧