機器分析センタータイトル

機器分析センター1FのSEMの利用に関して

平素,SEMをご利用いただき,誠にありがとうございます.

これまでステージ駆動の制御基板の不調により利用を停止させておりましたが,10月2日に基板交換を行い,問題なく観察できたので利用再開とさせていただきました.
しかし,昨日の利用者からのご報告によると,SEM観察中にステージを動かした際,エラー表示がでて,ステージが動かせない事象が発生したようです.

このエラーはFile→Offlineを行い,制御PCを再起動することで解消させることができました.

当該エラーは制御基板の交換作業後から,1回しか確認できておりませんが,今後は頻繁に発生する可能性も考えられます.
今後の利用に関して,当該エラーが発生した場合は機器分析センター坂本までご連絡ください.また,対策として制御PCの再起動をお願い致します.